99.9999氢气发生器能够将普通氢气提纯至超高纯度,满足半导体、光谱分析等领域的严苛需求,其核心在于内部各功能模块的精密协作。解密其内部结构,可分为原料供应、氢气生成、纯化提纯、智能控制与安全保障五大系统。
一、原料供应系统:
系统以高纯度原料氢气(纯度通常≥99.9%)或去离子水(电解制氢型)为起始原料。若为氢气原料型,通过减压阀与流量控制器调节进气压力(0.1-0.5MPa)与流量(1-10L/min),确保后续处理稳定;若为电解水型,则配备精密水箱与去离子过滤单元,去除水中金属离子与颗粒杂质,从源头降低污染风险。

二、氢气生成单元:
对于电解制氢型,核心是质子交换膜(PEM)电解槽——采用铂/铱催化剂涂层电极,通电后水分子在阳极分解为氢离子(H⁺)与氧气,H⁺通过质子交换膜迁移至阴极,在阴极得电子生成高纯氢气(初始纯度约99.99%)。该设计避免了传统碱性电解槽的碱液残留问题,更适合高纯度需求。
三、纯化提纯系统:
这是实现6N级纯度的关键。首先通过钯合金扩散膜,利用氢气在钯中的选择性渗透特性(仅H₂能以原子态通过),拦截氧气、氮气等气体杂质;随后经过三级吸附塔——一级分子筛脱除残余水分(露点≤-70℃),二级活性炭吸附烃类与挥发性有机物(VOCs),三级氧化铝或铜催化剂将残余氧与氢反应生成水并去除(氧含量<0.1ppm)。部分优质机型还配备催化脱氧-冷阱除水复合模块,进一步将杂质控制在ppb级。
四、智能控制与安全系统:
内置传感器实时监测氢气纯度、压力、露点及温度,通过PLC自动调节电解电流或原料气流量。安全模块包含防爆泄压阀(超压自动释放)、氢气泄漏报警器(≤1%LEL触发声光警报)及过流保护电路,确保全流程安全可控。
从原料到高纯,99.9999氢气发生器的内部结构是材料科学、化学工程与智能控制的集成榜样,每一处细节都为较好的纯度服务。